Florian Wieberger: Publikationen
| Forman, D.C.; Wieberger, F.; Gröschel, A.H.; Müller, A.H.E.; Schmidt, H.-W.; Ober, C.K.: Comparison of star and linear ArF resists, Proceedings of SPIE, 7639, 76390P (2010), doi:10.1117/12.848344 -- Details |
Sonderforschungsbereich 481
Komplexe Makromolekül- und Hybridsysteme in inneren und äußeren Feldern
Florian Wieberger: Publikationen |
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