| SRC: Photoresist Design for Improved Line Edge Roughness |
| Von 01/2008 bis 01/2011 |
| Projektleiter: Hans-Werner Schmidt, Axel H. E. Müller, Matthias Ballauff, Christopher K. Ober |
| Mitarbeiter: Florian Wieberger |
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Prof. Dr. Axel Müller
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